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2019/9/2 16:19

无惧日本制裁 LG测试韩国产氟化氢材料成功

快科技  宪瑞

尽管日本政府正式将韩国移出了对外贸易白名单,管制对韩国企业出口光刻胶、氟化聚酰亚胺和氟化氢等重要材料,但是日本方面最近也审批了新的对韩出口,光刻胶、氟化氢两种产品都批准出口了。

高纯度的电子级氟化氢是氟精细化学品的一种,在半导体制造工艺中主要用于去除膜沉积后粘附在化学气相沉积炉内的不必要化学物质、等离子刻蚀、光刻胶图案化之后的蚀刻细槽或孔等流程,是一种半导体生产中非常重要的原材料,日本企业在这个领域占据主要份额。

但是日本的制裁使得韩国企业对日本供应链产生了警惕,即便可以进口,SAMSUNGSK海力士及LG等企业还是会替换日本材料。日前韩国媒体报道称,LG旗下的LG Display企业已经测试成功了韩国产氟化氢,并开始应用于工业生产,这比原先预计的时间提早了一个月多。

从报道来看,韩国企业生产的高纯度氟化氢已经达到了LG企业的要求,产量及成本都符合企业标准。

不只是LG,SAMSUNG企业预计也会在本月初完成国产氟化氢材料的测试验证工作,一旦完成测试工作也会马上用于生产线中以便用于量产工作。

从日韩的对立情况来看,两国的关系不太可能在短时间内修复,日本还会继续通过管制措施制裁韩国,但是韩国在重要材料上也决定转向国产自主,预计在未来5年里投入5万亿韩元(约合295亿人民币)实现100多种重要材料及装备的国产化。

无惧日本制裁 LG测试韩国产氟化氢材料成功

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